精密洗浄&装置製造Business content

半導体関連部品の精密洗浄
真空パック

洗浄プロセスの概要

第1槽

脱脂洗浄 超音波洗浄(中性洗剤含)による油分の除去を行います

第2槽

純水洗浄A
純水にて超音波洗浄を行います

第3槽

純水洗浄B
純水にて噴流洗浄を行います

第4槽

真空乾燥槽
槽内を真空にして水分の除去を行います

お客様のニーズに迅速にお答えする形で、洗浄プロセスや真空梱包内容を柔軟に変化及び対応することはもちろん、より良い品質をお届けできるよう日々取り組んでおります。

主な洗浄製品 → プラズマエッチング装置チャンバー内部品 主な部品材質 → *アルミ(アルマイト処理後:イットリア溶射後含む)
*対応可能部品、または洗浄工程等の問い合わせにも即座にお答えします。
パーツ搬入口
洗浄層
サイズ1500*1500*1500
洗浄層
※建築途中に撮影したものです
大型真空パック器

ライン半導体製造装置組立(プラズマエッチング装置プロセスモジュール)
太陽電池製造装置組立(プラズマCVD)

組立業務の流れ

受け入れ仕分け

パーツのキット化及び、精密洗浄部品と通常品の切り分け

subassy及び総組み

キット化された部品のサブアッシー
精密洗浄終了後のパーツを合わせ総組み

調整検査

組立終了後、リークチェック、加圧チェック、各駆動部調整電気系統チェック(200V 400V対応)

出荷梱包

最終検査 検査シート作成

各製造装置組立において、20年以上の実績をもっており、お客様の厚い信頼を頂いております。
洗浄工程と合わせた一貫性のある物づくりを行っており、リードタイムとコストパフォーマンスに優れ、また、リスクの小ささから大きな高品質が生まれます。
是非一度工場見学に足を運んでください。

クリーンルーム(1200㎡)
クラス1000
大型製造エリア(1500㎡)
20tクレーン2基 耐床3t/㎡
大型出荷エリア 30tクレーントレーラー搬入可
物流エリア(1000㎡)
QRコードによるシステム管理
*組立可能製品、工場見学等のお問い合わせにも即座にお答えします。