装置製造

ライン半導体製造装置組立(プラズマエッチング装置プロセスモジュール)
太陽電池製造装置組立(プラズマCVD)

組立業務の流れ


受け入れ仕分け

パーツのキット化及び、精密洗浄部品と通常品の切り分け


subassy及び総組み

キット化された部品のサブアッシー
精密洗浄終了後のパーツを合わせ総組み


調整検査

組立終了後、リークチェック、加圧チェック、各駆動部調整電気系統チェック(200V 400V対応)


出荷梱包

最終検査 検査シート作成

 
各製造装置組立において、20年以上の実績をもっており、お客様の厚い信頼を頂いております。
洗浄工程と合わせた一貫性のある物づくりを行っており、リードタイムとコストパフォーマンスに優れ、また、リスクの小ささから大きな高品質が生まれます。
是非一度工場見学に足を運んでください。

クリーンルーム(1200㎡)
クラス1000
大型製造エリア(1500㎡)
20tクレーン2基 耐床3t/㎡
大型出荷エリア 30tクレーントレーラー搬入可
物流エリア(1000㎡)
QRコードによるシステム管理
*組立可能製品、工場見学等のお問い合わせにも即座にお答えします。